金融界2025年1月2日音讯,国家知识产权局信息数据显现,姑苏科阳半导体有限公司获得一项名为“一种添加对晶圆真空吸附力的chuck盘”的专利,授权公告号 CN 222233602 U,请求日期为 2023年12月。
专利摘要显现,本实用新型公开了一种添加对晶圆真空吸附力的chuck盘,保留了现有chuck盘上的真空孔和pin针孔,还在chuck盘上外表加工有凹槽,凹槽的方式有多样,包含不规则形、同心圆和同心正方形;凹槽的加工,可以添加晶圆与chuck盘的真空吸附面积,确保晶圆在吸附过程中紧紧地贴附在chuck盘上,安稳完结喷涂作业,且无需人为手动干涉,明显提高晶圆的良率。